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多晶硅片酸腐蝕制絨面技術(shù)

發(fā)布時(shí)間:2013-08-16 08:25:47點(diǎn)擊數:1236次

因為在切割好的多晶硅片和拋光后的單晶硅片的過(guò)程中所產(chǎn)生的損傷會(huì )被酸性混合溶液腐蝕。該混合物中包括氫氟酸,硝酸,與去離子水,而磷酸或硫酸則作為稀釋劑。在腐蝕剛開(kāi)始的階段,因為硅片切割時(shí)產(chǎn)生的表面裂縫,轉化深和長(cháng)的坑。這種坑所產(chǎn)生的反射是很低的。然而,由于進(jìn)行酸腐蝕損壞的表面區域之外,更多的反射,泡沫般的腐蝕絨面獲得。

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